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【美国GEL-PAK】GP-TRAYVAC-A真空释放工具

来源: 发布时间:2024-09-20

 GP-TRAYVAC-A真空释放工具是由美国GEL-PAK公司生产,是一款集成的真空释放系统专门设计用于在半导体晶圆处理过程中安全地释放托盘中的真空状态,GP-TRAYVAC-A真空释放工具对于确保晶圆在搬运和存储过程中的完整性至关重要。

 GP-TRAYVAC-A真空释放工具主要特点

紧凑设计:外观紧凑,便于安装在有限空间内。操作简单,易于携带和使用

性能高效:使用0.5 SCFM、60-80 psi的压缩空气作为动力源,确保了系统的稳定性和效率提供了一种特殊的金属板,用于放置VR托盘,并通过同一真空源来实现拾取功能。

可靠性与耐用性:以其性能和可靠的品质而闻名,成为解决真空问题的得力助手。适用于各种工业和科研领域中对真空环境处理要求较高的场合。

便捷的操作:设计注重实用性和便捷性,使操作人员可以快速上手,系统包括必要的管路连接件和附件,简化了安装过程。

应用领域

半导体制造:在晶圆的搬运、测试及包装等环节中广泛使用。

精密机械加工:需要精确控制工件位置的应用中。

实验室研究:涉及微小部件处理的研究项目。

电子装配:特别是在组装敏感电子元件时。

使用方法

 

1.准备工作:确认所有连接紧固无误,检查气源压力是否符合要求。

2.放置托盘:将装载有晶圆的VR托盘放置于GP-TRAYVAC-A的专用金属板上。

3.启动系统:打开气源,启动真空释放过程。

4.取出晶圆:当真空被释放后,小心地从托盘中取出晶圆。

5.关闭系统:完成操作后,关闭气源并清理工作区域。

GP-TRAYVAC-A真空释放工具凭借其紧凑的设计、高效的性能以及简便的操作,成为了许多高精度制造环境中不可或缺的工具。如果您正在寻找一种可靠的方式来管理晶圆或其他精密部件的真空状态,可以联系杉本客服了解更多有关信息。

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